檢索結果：共1筆資料 檢索策略： "電子工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="半透光層"
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本論文研究半透光膜輔助矽膜雷射長晶，在Si (90 nm)/SiO2 (100 nm)/SiONx (1200 nm)，α=15000 cm-1條件下，成功得到20 µm的矽晶粒，並利用…